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芯片线路验证-FIB测试

时间:2024-08-10      来源:网络搜集 关于我们 0

聚焦离子束(FIB)测试原理

聚焦离子束(FIB)技术类似于聚焦电子束技术,其主要不同是用离子源代替电子源,用离子光学系统代替电子光学系统。

FIB系统以镓或铟为离子源,在离子束流较小时作为扫描离子显微镜,其原理与之相似。当离子束流比较大时,可以对靶材料进行部分去除与淀积,作为芯片电路修改与部分剖切面。

聚焦式离子束技术是一种精密的微纳加工技术,它通过静电透镜系统将镓元素离子化为正离...





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