芯片线路验证-FIB测试

聚焦离子束（FIB）测试原理

聚焦离子束（FIB）技术类似于聚焦电子束技术，其主要不同是用离子源代替电子源，用离子光学系统代替电子光学系统。

FIB系统以镓或铟为离子源，在离子束流较小时作为扫描离子显微镜，其原理与之相似。当离子束流比较大时，可以对靶材料进行部分去除与淀积，作为芯片电路修改与部分剖切面。

聚焦式离子束技术是一种精密的微纳加工技术，它通过静电透镜系统将镓元素离子化为正离...